会社概要
| 会社名 | 株式会社ムサシノエンジニアリング MUSASHINO ENGINEERING CO.,LTD |
| 所在地 | 埼玉県さいたま市岩槻区並木2丁目10番10号 |
| TEL | 048（756）8792 |
| FAX | 048（756）8793 |
| 設立 | 昭和63年11月1日 |
| 代表者 | 宮本 和夫 |
| 資本金 | 3,000万円 |
アクセス
岩槻ＩＣよりお越しの方
東北自動車道を”大宮方面”へ出られて、6つ目の信号（深作南）を右折します(約3km)。信号を2つほど過ぎて東北自動車道を渡る橋の手前（一方通行）を左折します(約850m)。道なりに行きますと、茶色い建物で「株式会社大和」と書いてある建物の隣が当社です。
岩槻ＩＣよりクルマで約１５分
岩槻駅よりお越しの方
駅前の道を行き、1つ目の信号を右折します。約400mほど行き右折します。東武野田線の橋をくぐり国道122号にあたるまで直進します(約1km)。国道122号にあたったら右斜め方向に進み、五差路の交差点を左折し、地下道をぬけて突き当たりを左折します。道なりに行きますと、茶色い建物で「株式会社大和」と書いてある建物の隣が当社です。
岩槻駅より徒歩で約３０分
岩槻駅よりタクシーで約１０分
※タクシーの場合「エクレールマンション４号棟手前、株式会社大和のとなり」と言っていただくとすぐに分かります。
取得特許一覧
取得特許 18件
会社沿革
| 昭和59年9月 | 武蔵野精機(株)にて超高真空機器の製造開始。 |
| 昭和63年11月 | 武蔵野精機(株)より真空部門及び技術部門が独立、 資本金１，０００万円にてムサシノエンジニアリングを設立。 |
| 平成4年8月 | 新社屋完成し現住所へ移転。 |
| 平成5年1月 | 増資を行い、１，３３０万円とする。 |
| 平成6年10月 | 新技術事業団より特許実施権、取得。アルミフランジの製造販売開始。 |
| 平成9年9月 | 真空CCDカメラ開発。 |
| 平成10年4月 | 増資を行い、３，０００万円とする。 |
| 平成10年9月 | 銅製極高真空システムの開発及びイギリスの国際真空学会にて発表。 |
| 平成11年4月 | 反射高速電子回折装置開発、販売開始。 |
| 平成11年8月 | 埼玉県知事より中小企業創造活動促進法の認可を受ける。 |
| 平成11年9月 | 社債発行する。 |
| 平成12年3月 | 埼玉県知事より中小企業経営革新法の認可を受ける。 |
| 平成12年7月 | 完全半球型エネルギー分析装置開発、販売開始。 |
| 平成13年1月 | (社)中小企業研究センターより第３５回中小企業センター技術開発奨励賞を受賞する。 |
| 平成13年1月 | レンチレスナットの開発、販売開始。 |
| 平成13年2月 | 超高真空ステージ（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の小型標準化開発、販売開始。 |
| 平成13年9月 | チタンネジ・真空圧着端子・アルミベローズ・超高真空ステージ（θ）各開発、販売開始。 真空脱ガス処理・真空用受託分析・真空対応受託加工各サービス販売開始。 |
| 平成14年9月 | 電子線源・光電子分析装置開発、販売開始。 |
| 平成15年2月 | コンパクト基板搬送システム、販売開始。 |
| 平成15年7月 | ホームページリニューアル。 |
| 平成16年4月 | 常温接合装置、クレーバークラスター、販売開始。 |
| 平成17年4月 | カーボンナノチューブを用いたヒートパイプ(地域新規産業創造技術開発費補助金の支援による)開発、販売活動開始。 |
| 平成17年4月 | 新型バキュームアイの開発、販売開始。 |
| 平成18年5月 | 量産用常温接合装置開発、販売開始。 |
| 平成19年2月 | 常温接合による受託接合実験サービス販売開始。 |
| 平成20年6月 | 埼玉県知事より中小企業経営革新支援法の認可を受ける。 |
| 平成20年11月 | さいたま市よりテクニカルブランド企業の認証を受ける。 |
| 平成21年6月 | 経済産業省より「2009年元気なモノ作り中小企業300社(日本のイノベーションを支えるモノ作り中小企業部門)」として選定される。 |
| 平成21年9月 | 全国中小企業団体中央会より平成２１年度ものづくり中小企業製品開発等支援補助金（試作開発等支援事業）に申請し、交付決定。 |
| 平成22年11月 | 中低真空用ボルト １本からのばら売り及び真空用ＤＬＣ(ダイヤモンド・ライク・ カーボン)コーティングボルト・ナット＆大気用フランジ取り付け用 ＤＬＣコーテ ィングボルトの製作・販売を開始。 |
| 平成22年11月 | 加速器・放射光施設向 超高真空用４象限スリットの製作・販売を開始。 |
| 平成22年12月 | 小角散乱用真空パス自動切換装置の製作・販売を開始。 |
| 平成23年1月 | 加速器・放射光施設向超高真空槽挿入型４象限スリットの製作・販売を開始。 |
| 平成23年5月 | 加速器・放射光施設向低ｴﾐｯﾀﾝｽＤＣ電子銃システムの製作・販売を開始。 |
| 平成24年6月 | 常温接合による試作サービス及び受託生産サービスを開始。 |
| 平成25年5月 | 全国中小企業団体中央会より平成２４年度ものづくり中小企企業・小規模事業者試作開発等支援補助金に申請し、交付決定。 |
| 平成25年4月 | 真空用自動ＸＹスリット＜水冷機能付＞の製作・販売を開始。 |
| 平成25年9月 | 非磁性レンチレスナットの製作・販売を開始。 |
| 平成29年3月 | 新型バキュームアイ(高真空用ＣＭＯＳカメラ・空冷仕様)、真空内視鏡の開発、販売開始。 |
保有技術
１．設計技術
一般産業機械の設計製作から、超高真空分野に入りましたので、機構的にも、一般 真空メーカーにないものが、設計可能です。 光学系，真空系，極低温系，超精密加工系などの基礎技術を基に駆動系をもっとも得意としており、容器及び装置までも、 設計しており制御系、コントローラーまで製作しております。
２．製造技術及び品質保障
- ２−１
- 加工技術として、アルミニウム合金に対してＥＸ，ＥＬ，ＳＰ等の特殊加工（表面 酸化膜を、コントロールする） によりガス放出を少なくする加工法。又ステンレス合金や銅に対してＴＯＭＩ研磨、プリベークなどのガス放出を、少なくする技術も当社独自技術として、行っております。
- ２−２
- アルミニウムのＩＣＦフランジを製造しており、特殊な形状でも、対応が出来ます。
- ２−３
- 組立は、クリーンルーム（クラス5000）及び、 クリーンベンチ（クラス100）を保有しており、超高真空の物件の組立を行っております。
- ２−４
- ベーキング炉を５台所有しておりますので、組立後の加熱による影響を確認、精度チェック，動作チェックが出来、ユーザーに納入後のトラブルを無くしております。 又、これにて脱ガス処理も行なえます。
- ２−５
- 品質保障は、寸法的には0.1μ までの測定が行えます。 又、真空度的には10-10Pa(10-12Toor)まで行え、ガス放出率や分圧測定も行なえます。動作は、三次元測定、 オートコリメーター等により測定致します。
営業内容
- 半導体、フラットパネルディスプレイ向け、開発及び製造装置の設計・製作
- 大学・研究開発向け、研究設備の設計・製作
- 加速器、放射光利用施設向け、各種設備及び研究装置の設計・製作
- 宇宙開発向け研究設備の設計・製作
- 医療・医療品向け、開発及び製造装置の設計・製作
- 常温接合技術を用いた常温下で種々の材料同士を直接接合または薄膜を介して接合する装置の設計・製作。
製品サービス概要
概要
当社独自の超高真空、極低温、超精密加工及び光に関しての複合技術にて、容器、ステージ、マニピュレータ、装置等を設計製作にて提供しております。
| 1．常温接合装置 | 表面活性化による常温接合（SAB）。 原子拡散接合による常温接合（ADB）。 |
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| 2．真空用容器 | 材質 | ステンレス、アルミニウム合金、銅、チタン、 ハーステロイ他 |
| 真空度 | 10-10Pa(10-12Torr)台まで製作可能 | |
| 大きさ | 1.7m×1.7m程度 | |
| 溶接 | 電子ビーム、TiG、Co2レーザー | |
| 表面処理 | ＥＸ加工、ＥＬ加工、電解研磨、化学研磨、ＧＢＢ、イオンプレーティング（CrN，TiC，TiN）アルマイト、 硬質アルマイト、電解複合研磨、 無電解ニッケルメッキ、フッ化処理他 ※完全非磁性チャンバーも製作可能です。 |
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| 3．真空用ステージ | 材質 | ステンレス、アルミニウム合金、他 |
| 軸数 | １軸〜６軸 | |
| 駆動 | マニュアル、モーター、エアー、ピエーゾ | |
| 制御 | コントロールボックスまで製作 | |
| 精度 | 40nmまで可能 | |
| 使用真空度 | 10-9Pa(10-11Torr)台まで可能 | |
| 4．真空用マニピュレーター（運動導入機） | 材質 | ステンレス、アルミニウム、銅、他 |
| 軸数 | １軸〜６軸 | |
| 駆動 | マニュアル、モーター、エアー、ピエーゾ | |
| 制御 | コントロールボックスまで製作 | |
| 精度 | 40nmまで可能 | |
| 使用真空度 | 10-10Pa（10-12Torr）台まで可能 | |
| 直線導入機、回転導入機、Ｘ、Ｙマニピュレータ、２軸回転導入機、 ３軸（Ｘ，θ，チャック）、マニピュレーター、 ４軸（ＸＹＺθ）マニピュレーター、 ６軸（ＸＹＺθ1，θ2，チルト）マニピュレータ、 マグネットカップリング、ロボット |
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| 5．真空装置 | ・特殊ＣＶＤ、スパッタ装置 ・研究、実験用装置 ・真空加熱処理装置 ・宇宙環境機器，装置 ・真空内搬送装置 |
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| ６．その他 | (1)規格品 | ・超真空用ボルト、ナット ・中低真空用ボルト・ナット ・銅ガスケット、アルミニウム合金ガスケット ・アルミニウム合金ボルト・ナット ・セラミックネジ（アルミナ、ジルコニア他） ・表面コートネジ（金、銀、二硫化モリブデン、DLC他） ・特殊材質ボルト（チタン、モリブデン、インコネル他） ・シャッター機構 ・真空加熱処理装置 ・手動Ｘ，Ｙスリット（放射光、Ｘ線用） ・自動Ｘ，Ｙスリット（放射光、Ｘ線用） ・レンチレスナット ・真空用圧着端子 ・AL，SUS，Cu，Ti他ICFフランジ、六方菅、キュービック ・レーザー光用ビューイングポート（石英、ＢＫ７他） ・微調位置決めユニット ・超高真空用CCDカメラ「バキュームアイ」 ・反射高速電子回折装置-RHEED- ・真空用MIケーブル |
| (2)設計製作品 | ・加速器用ビームモニター ・加速器用ビームスリット、Ｘ，Ｙ，両開き ・加速器用各種装置 ・特殊ハーメチックシール ・４軸、５軸、６軸ゴニオメーター ・高次光除去ミラー調整装置 ・ｉｎ−ｓｉｔｕ偏向全反射蛍光ＸＡＦＳ装置 ・重力測定装置 ・原子泉型標準器 ・Ｂｅマド ・Ｃｏレーザー共振器 ・各種高真空用ミラー制御 ・極低温用ステージ、マニピュレーター ・大気用各種ステージ、マニピュレータ ・各種専用機 ・各種測定機 ・各種分析機 |
|
| ７． 受託加工 | (1)一般加工 | 図面をお預かりして、貴社の使用条件をお聞きし最適の加工・溶接・処理等、弊社独自の技術を盛り込んだ受託加工をいたします。 |
| (2)真空対応加工 | 図面をお預かりして、必要な真空度に応じた加工・処理等を施すことにより、パーツのガス放出速度まで保証できる、真空対応の受託加工を致します。 | |
| (3)表面処理 | ・ ＥＸ加工、ＥＬ加工、電解研磨、電解複合研磨、化学研磨、ＧＢＢ等 ・コート（Au、Ag、各種メッキ、DLC、NiP、CrN、TiN、各種イオンプレーティンク、各種アルマイト他） |
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| ８． 受託分析サービス | ・Ｈｅリーク試験 ・ガス放出速度測定、分圧測定 ・各種表面分析 |
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| ９． 受託真空脱ガス処理サービス | 真空度 | 10-7Pa（10-9Torr）台まで |
| 加熱温度 | MAX 700℃ | |
| ワーク最大寸法 | φ400×250H（mm） | |
代表者あいさつ
当社はお客様とともに、お客様のやりたいことを実現させる会社です。真空創作技術をベースに極限技術を利用して実用装置を開発する技術集団です。
当社は規格品の販売も行っておりますが、オーダーメイド品の開発に積極的に応じております。お仕着せの製品ではなく、お客様の御要望に合わせた提案を行い、世界にひとつしかない装置を多く開発しており、従来不可能だったことを可能にするお手伝いをしてまいりました。貴社のお役に立てることが、きっとあるはずです。どんな内容でも真剣にお伺いいたします。是非当社へ御相談ください。
経営理念
- 景気に左右されず、差別化された先端的技術、製品を持ちユーザーに対しても、また財務に於いても安定した強い会社を目指す。
- 三社三得(顧客、会社、協力工場)の方針に基づき、信頼と満足を提供し、永続的経営を行う。
- 社員に対し安心して仕事が出来る職場を提供し、地域への貢献と日本国のものづくり技術の先端を担う。
経営方針
- 製品、技術、サービス全てに独自性をもつ
- 世の中の景気に左右されない経営基盤をもつ
- 社員の安定した雇用を確保し、将来に希望を与える
- ユーザーの信用を得る
プレスリリース
| 日時 | 区分 | 発行社 | 内容 | 備考 |
|---|---|---|---|---|
| 2009/7/27 | 新聞 | 日経産業新聞 | 異素材、常温で接合（ＡＤＢ） | 1面 |
| 2009/7/29 | 新聞 | 日刊工業新聞 | 金属薄膜でウエハー接合（ＡＤＢ） | 6面 |
| 2009/8/1 | 雑誌 | Electronic Journal | 基板接合技術の最前線 | 86〜87Ｐ |
| 2009/8/10 | 新聞 | 日刊工業新聞 | ものづくり中小開発等補助金 企業庁が1,655件選出 | 20面 |
| 2009/8/26 | 新聞 | 日本経済新聞 | 真空技術で金属接合 | 35面 埼玉・首都圏経済 |
| 2009/9/1 | 雑誌 | 日経ものづくり | 熱や力を加えずに異種材を接合金属薄膜の原子拡散を利用 | 22〜21Ｐ |
| 2009/12/21 | 新聞 | 金属産業新聞 | 真空用ボルト・ナット | 3面 |
| 2010/4/27 | 新聞 | 日経産業新聞 | 京セラキンセキ・東北大 水晶、金属原子で接合（ＡＤＢ） | 1面 |
| 2011/1/31 | 雑誌 | メカトロニクス2011.2月号 | Event Infomation セミコン・ジャパン2010 2つのタイプ（ＳＡＢ、ＡＤＢ）の常温接合装置を紹介 | ５７Ｐ |
| 2011/2/21 | 雑誌 | TSR情報 埼玉版No.2151 |
彩の国企業広場にて会社紹介 | １Ｐ |
| 2011/2/25 | 雑誌 | J2TOP 2011.3月号 |
世界に誇る！日本の中小企業 にて会社紹介 世界トップクラスの真空技術を 核にオンリーワンの技術・製品を 開発 |
22〜 23Ｐ |
| 2011/3/28 | Web | 独立行政法人 科学技術振興機構(JST) SciencePortal (サイエンス ポータル) |
世界に誇る！日本の中小企業 にて会社紹介 世界トップクラスの真空技術を 核にオンリーワンの技術・製品を 開発 |
|
| 2011/9/9 | 雑誌 | ニュートップL. 2011.9月号 |
キラリと光るスモールカンパニー にて会社紹介 |
94〜 97Ｐ |
| 2019/12/4 | 雑誌 | 週刊帝国ニュース 埼玉県版 2019 NO.1850 |
Business Gallery にて会社紹介 | 17P |
