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スタンダード品 A2分類 真空フランジ

アルミニウム合金製 CrN 表面処理 ICFフランジ

アルミニウム合金製 CrN 表面処理 ICFフランジ

特長

  • 150℃の低温ベーキング処理でステンレス鋼を上回る低いガス放出率10-11Pa・m3/sec・m2(10-13Torr・l/sec・cm2)が可能。
  • 重量が非常に軽い。(ステンレス鋼の1/3)
  • フランジのシール面は高硬度のCrN(イオンプレーティング)で保護されている。
  • フランジ材はA2219を使用。(高硬度、耐熱合金)

アルミニウム合金製 NiP 表面処理 ICFフランジ

アルミニウム合金製 NiP 表面処理 ICFフランジ

特長

  • 材料は一般材料(A5052、A5056)を用い、処理もNiPなので非常に安価。
  • ケミカルに強い。(耐腐食性強)
  • 真空側のNiP膜をアルコール切削(EL加工)することにより従来のアルミチャンバーと同等のガス放出率が得られる。

銅合金製 ICFフランジ

銅合金製 ICFフランジ

特長

  • 完全非磁性、熱伝導性良、低輻射率。
  • ベーク無しでも10-8Pa(10-10Torr)の超高真空達成が可能。
  • 100℃低温ベークで10-10Pa(10-12Torr)の極高真空達成が可能。
  • 通常の無酸素銅でも10-11Pa・m3/sec・m2が可能。
  • 表面処理はNiP処理を行い酸化及びシール面の保護を行っております。

CrN表面処理 ICFフランジタイプ6方管及びキューブ(アルミニウム合金)

CrN表面処理 ICFフランジタイプ6方管及びキューブ(アルミニウム合金)

特長

  • 150℃の低温ベーキング処理でステンレス鋼を上回る低いガス放出率 10-11Pa・m3/sec・m2(10-13Torr・l/sec・cm2)が可能。
  • 重量が非常に軽い(ステンレス鋼の1/3)。
  • フランジのシール面は高硬度のCrN(イオンプレーティング)で保護されている。
  • フランジ部材質はA2219を使用。(高硬度、耐熱合金)。

超高・極高真空用 ICFフランジタイプ6方管及びキューブ(銅合金製)

超高・極高真空用 ICFフランジタイプ6方管及びキューブ(銅合金製)

特長

  • 完全非磁性、熱伝導性良、低輻射率。
  • ベーク無しでも10-8Pa(10-10Torr)の超高真空達成が可能。
  • 100℃低温ベークで10-10Pa(10-12Torr)の極高真空達成が可能。
  • フランジ部材質はCrCuまたは、BeCuを使用。
  • 表面処理はNiP処理を行い酸化及びシール面の保護を行っております。

ICFフランジ用 ガスケット(アルミニウム、銅合金、ステンレス用)

ICFフランジ用 ガスケット(アルミニウム、銅合金、ステンレス用)

特長

  • フランジ材質によりガスケット材を選択してください。
    Al-ICFフランジ Alガスケット
    SUS-ICFフランジ Cuガスケット
    AgコートCuガスケット
    Cu-ICFフランジ
  • クリーンパッケージの為、使用時に開封してください。

Alフランジ取付用 ボルト・ナット・ワッシャ

Alフランジ取付用 ボルト・ナット・ワッシャ

特長

  • アルミフランジの取付け用としてご使用ください。
  • 完全非磁性。
  • 軽量。

材質及び処理

  材質 ワーク最大寸法
ボルト A2024 白アルマイト
ナット A6061 なし
ワッシャ A2017 硬質アルマイト