当社では、お客様のご要望に沿ったオーダーメイド品を数多く納品して参りました。
ボルト1本から、装置まで、お客様の仕様にそった製品を提供して参ります。
技術的なご相談にも対応いたしますので、仕様が固まらない段階でも、お問い合わせ下さい。

常温接合装置

概要

ウエハ常温接合装置は異種材料のウエハ直接接合やウエハ上に作製された微小デバイスの一括接合を行う装置です。真空チャンバー内で、2枚のウエハ表面をイオンガンによりクリーニングすることにより、常温での接合を行います。4インチまでのウエハに対応し、高精度の位置決め機能を備えています。
マイクロアセンブリ用超高真空多軸ステージは微小デバイスのチップごとの組立・実装に使用します。試料は2つの高精度の位置決めステージに装着され、任意の位置と姿勢で高精度の接合が可能です。
弊社ではお客様の目的・ご仕様に合わせて2 種類の接合方法をご提案しています。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

重力測定装置

概要

超高真空環境下に於いてミラーを組み込んだ落体を自由落下させ、下方向よりレーザーにより加速度（距離と時間）を測定し、重力を計算します。

特長

• 高精度、高分解能。
• アルミニウム製にて小型、軽量、持ち運び可能。
• 測定部は完全非磁性。
• 落体はエレベータ機能付にて、くり返し測定が可能。
• 荒引はターボ分子ポンプで行い、10^-7Paをイオンポンプで維持する。
• 落体を落下させるのは3方向のピエーゾクランプを同期解除させて行う。

納入先：国立天文台（南極観測隊にて使用）

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

原子泉型標準器

概要

レーザー光により数μKにまで冷却されたセシウム原子を、やはりレーザー光を使って約1mの高さまで打ち上げ、9.2GHzのマイクロ波と相互作用させ、原子の吸収スペクルを1Hz程度の超高分解能で観測するための装置です。

特長

• メインチャンバーはアルミニウム合金製にて、完全非磁性・低ガス放出である。
• メインチャンバー内に真空対応非磁性型ソレノイドコイル及び磁気シールドを搭載。
• 下部に特殊16面体（ICF070のポート）のトラップチャンバーを設置。
• レーザー導入用の特殊形状ビューポートを使用。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

真空環境試験装置

概要

本装置はアルミニウム合金製にて、低温ベーキングで超高真空が得られるようになっています。
この環境下に於いて、動作耐久試験、加熱及び冷却の試験、動作精度の確認、動作時のパーティクルの測定、放出ガス分圧測定が行える機構となっています。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

電子顕微鏡マニピュレーター

概要

超高真空（10^-9Pa）環境下に於いて電子顕微鏡にて試料を測定する場合の試料ステージです。
熱対策、振動対策がほどこされており、外部マニピュレーターにてX,Y,Z,θ（回転）の移動を行い､微調はピエーゾステージにより行います。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

極低温ステージ

概要

超高真空環境下に於いて本ステージは、中央の空間部に冷凍器が取り付けられており、4K近くまで試料が冷却されます。
又、試料の位置調整はモーターによりX,Y,Z,θ（面内回転）の移動がミクロン単位 で行えます。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

レーザー用ミラーマニピュレーター

概要

本ミラーマニピュレーターは高真空下に於いてCOレーザー（30kW）用として開発されたもので、ミラーのあおりを1秒以内にて外部よりコントロールできるようになっています。
又、高出力レーザーの為、発熱が多く、水冷構造となっています。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

アルミニウム合金製チャンバー

特長

• 150℃の低温ベークでステンレス鋼を上回る低いガス放出率10^-11Pa・m³/sec・m²が可能。
• 軽量。（ステンレス鋼の約1/3）
• 完全非磁性も可能。
• 真空面にEL加工等を施すことにより、超高・極高真空対応も可能。
• ヴァージンチャンバーからの立ち上げ時間が短い。（ステンレスの1/2）
• 熱伝導が良い為、内部の温度均一化が可能。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

銅合金製チャンバー

特長

• 10^-12Pa・m³/sec・m²台の超低ガス放出率。
• ベークなしでも、10^-8Paの超高真空達成が可能。
• 100℃の低温ベークで10^-10Paの極高真空が可能。
• 完全非磁性、熱伝導性良、低輻射率という銅の特性をいかせる。
• ヴァージンチャンバーからの立ち上げ時間が非常に短い。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

ステンレス合金製チャンバー

特長

• 一般的なチャンバー材質のため、自由な形状が可能。
• 真空面にTOMI研磨（弊社独自の研磨）を施すことにより、容易に超高真空達成が可能。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

ＦＥＤ評価装置　/　あおり式基板搬送システム

ＦＥＤ評価装置の特長

本装置はField Emission Display（FED）用蛍光特性検査を行う目的で開発されたFED蛍光パネル総合検査装置です。真空槽内でFED蛍光パネルに電子ビームを照射することにより、蛍光体を実際に発光させ、蛍光パネルの発光特性の計測を行います。本装置にてFED蛍光パネルの開発から量産検査にいたる、あらゆる用途のご要求にお応え致します。

特長

• 簡易な構造で、ロードロックシステムを実現。
• プロセス側の受け渡し用駆動軸が不要。
• プロセス側の形状や、基板の形状を選ばず製作が可能。
• モーターを取り付けた、自動運転タイプも製作可能。

• ＦＥＤ評価装置の詳細はこちらをご覧ください（PDF）
• あおり式基板搬送システムの詳細はこちらをご覧ください（PDF）

電子顕微鏡マニピュレータ

概要

ムサシノエンジニアリングの電子顕微鏡マニピュレータは、超高真空環境下にて試料を測定する場合の試料ステージです。
各電子顕微鏡でのお客様の多種多様なニーズに対応可能なオーダーメイドのマニピュレータです。

特長

• 試料位置決め機構：リニアモーション、ロータリーモーション、チルティング
• マルチサンプルホルダー機構
• 試料加熱・冷却機構
• 試料測温機構
• 振動対策

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）